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发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 KR100904358(B1) 申请公布日期 2009.06.23
申请号 KR20020070616 申请日期 2002.11.14
申请人 发明人
分类号 H01L27/092;H01L29/78;H01L21/8234;H01L21/8238;H01L27/088;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L27/092
代理机构 代理人
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