| 主权项 |
1.一种光罩容器充气结构，该光罩容器可供摆置于具供排气装置的移载设备上，其包含有一底座及一与其配合形成容置光罩存放空间的壳罩所组成，底座上设有一连通前述存放空间的单向气阀，该单向气阀包含有；一管体，其内部于形成有一较小径的颈部，颈部于对应底座的一端形成有一向中心收束的斜锥面；一浮动件，其可产生自动向下复位的预力，该浮动件可受移载设备的供排气装置选择性向上压动；一密封环，其系套设于浮动件上，该密封环于浮动件向下复位时，并能对应贴合于前述管体的斜锥面上，使气体可保持于光罩容器的存放空间内部。2.依申请专利范围第1项所述之光罩容器充气结构，其中该光罩容器的底座底面形成有两供设置吸附剂的气流空间，气流空间的范围内并具有系列连通存放空间的气孔，且底座于气流空间上选择性覆设有一具气密作用的覆板，而单向气阀则设于覆板上，使气流可经由气流空间与气孔进入存放空间。3.依申请专利范围第2项所述之光罩容器充气结构，其中该气孔主要位于底座的光罩外缘，防止气流直接冲击光罩表面的期望图形。4.依申请专利范围第1项所述之光罩容器充气结构，其中该单向气阀的浮动件穿出管体颈部的一端利用止挡件与锁固件套设有一复位弹件，该复位弹件可顶撑于颈部与止挡件之间，使让密封环在正常状况下能保持与管体斜锥面之紧密贴合。5.依申请专利范围第1或4项所述之光罩容器充气结构，其中该单向气阀的浮动件于密封环上方形成有一防止密封环任意脱出的限位凸环。6.依申请专利范围第1项所述之光罩容器充气结构，其中该单向气阀于管体上设有一过滤件。7.依申请专利范围第1或2项所述之光罩容器充气结构，其中该单向气阀的管体的上方套设有一罩套，且罩套与管体间压掣有一过滤件，罩套顶面形成有一个以上的通孔，且罩套顶面外缘并凸伸有复数相隔设置的凸块，供单向气阀可透过罩套抵顶于底座底面，且罩套于相邻凸块间并形成有缺口，供气体可经由单向气阀与过滤件进入光罩容器的存放空间内部。8.一种入出气连接埠，其包含有：至少一单向气阀，其设于一具选择性启闭之存放空间的光罩容器上，该单向气阀包含有；一管体，其内部于形成有一较小径的颈部，颈部于对应底座的一端形成有一向中心收束的斜锥面；一浮动件，其可产生自动向下复位的预力，该浮动件可受移载设备的供排气装置选择性向上压动；一密封环，其系套设于浮动件上，该密封环于浮动件向下复位时，并能对应贴合于前述管体的斜锥面上；至少一对接气阀，其设于一具供排气装置之移载设备上，对接气阀在光罩容器置于移载设备时与前述单向气阀相对串接，使乾净气体可进出光罩容器的存放空间。9.依申请专利范围第8项所述之入出气连接埠，其中该单向气阀的浮动件穿出管体颈部的一端利用止挡件与锁固件套设有一复位弹件，该复位弹件可顶撑于颈部与止挡件之间，使让密封环在正常状况下能保持与管体斜锥面之紧密贴合。10.依申请专利范围第8或9项所述之入出气连接埠，其中该单向气阀的浮动件于密封环上方形成有一防止密封环任意脱出的限位凸环。11.依申请专利范围第8项所述之入出气连接埠，其中该单向气阀于管体上设有一过滤件。12.依申请专利范围第8或9项所述之入出气连接埠，其中该单向气阀的管体的上方套设有一罩套，且罩套与管体间压掣有一过滤件，罩套顶面形成有一个以上的通孔，且罩套顶面外缘并凸伸有复数相隔设置的凸块，且罩套于相邻凸块间并形成有缺口，供气体可经由单向气阀与过滤件进入光罩容器的存放空间内部。13.依申请专利范围第8项所述之入出气连接埠，其中该对接气阀包含有：一基座，其内部于形成有一较小径的颈部，颈部对应供排气装置的一端形成有一向中心收束的斜锥面，且基座顶面具有一可单向气阀选择性插置的对接部；一浮动件，其可产生自动向上复位的预力，该浮动件可相对单向气阀的浮动件选择性向下压动；一锥形密封块，其系套设于浮动件下段，该锥形密封块于浮动件向上复位时，能对应贴合于前述基座颈部的斜锥面上。14.依申请专利范围第13项所述之入出气连接埠，其中该对接气阀的基座底面于移载设备内设有一开口向上、且与气流回路连通的承杯，且前述浮动件于穿出锥形密封块的底面与承杯间顶撑有一复位弹件，使浮动件可产生自动向上复位的预力。15.依申请专利范围第13或14项所述之入出气连接埠，其中该对接气阀的浮动件于基座颈部上方形成有一防止浮动件任意向下脱出的限位凸环。图式简单说明：第一图为本创作之光罩容器充气结构的外观示意图，其说明各组件的态样及其相对关系。第二图为本创作之入出气连接埠装置的外观示意图。第三图为本创作之入出气连接埠装置中单向对接气阀的分解示意图。第四图为本创作之入出气连接埠装置中对接对接气阀的分解示意图。第五图为本创作于实际应用时的光罩容器与与移载设备之外观示意图。第六图为本创作于实际应用时入出气连接埠装置于对接前之剖面示意图。第七图为本创作于实际应用时入出气连接埠装置于对接后之剖面示意图。 |
