发明名称 自动光学检测装置
摘要
申请公布号 TWM359682 申请公布日期 2009.06.21
申请号 TW097221860 申请日期 2008.12.05
申请人 晶彩科技股份有限公司 FAVITE, INC. 新竹县竹北市沿河街78巷19号 发明人 叶东益
分类号 G01B11/00 (2006.01) 主分类号 G01B11/00 (2006.01)
代理机构 代理人 蔡朝安 新竹市光复路2段295号17楼之1;郑淑芬 新竹市光复路2段295号17楼之1
主权项 1.一种自动光学检测装置,包含:一基座;一第一支架,其跨接于该基座之两侧;至少一缺陷扫描单元,其设置于该第一支架,用以检测出一基板上之至少一缺陷并输出该缺陷之座标;一第二支架,其跨接于该基座之两侧;以及至少一缺陷影像撷取单元,其设置于该第二支架,用以依据该座标撷取该缺陷之影像,其中该第一支架及/或该第二支架为可移动。2.如请求项1所述之自动光学检测装置,其中该第一支架及/或该第二支架包含一固定元件,其用以固定该第一支架及/或该第二支架于该基座上。3.如请求项2所述之自动光学检测装置,其中该基座包含一滑轨,使该第一支架及/或该第二支架沿着该滑轨移动。4.如请求项1所述之自动光学检测装置,其中该缺陷扫描单元包含:一第一电荷藕合元件;一第一镜头组,其设置于该第一电荷藕合元件之前端;以及至少一第一光源,其设置于该基板之上方及/或下方。5.如请求项1所述之自动光学检测装置,其中该缺陷影像撷取单元包含:一第二电荷藕合元件;一第二镜头组,其设置于该第二电荷藕合元件之前端;以及至少一第二光源,其设置于该基板之上方及/或下方。6.如请求项1所述之自动光学检测装置,其中该缺陷影像撷取单元包含一驱动单元,用以依据该座标驱动该缺陷影像撷取单元至该缺陷之位置。7.如请求项1所述之自动光学检测装置,其中该基座包含一运送单元,用以移动该基板。8.如请求项1所述之自动光学检测装置,其中该基板为一平面待测物。9.如请求项1所述之自动光学检测装置,其中该基板为一玻璃基板或液晶显示面板。图式简单说明:图1为一侧视图,显示习知之自动光学检测装置。图2为一侧视图,显示另一习知之自动光学检测装置。图3a为一侧视图,显示本创作一较佳实施例之自动光学检测装置之检测状态。图3b为一侧视图,显示本创作一较佳实施例之自动光学检测装置之维修状态。
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