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发明名称
PROCESS FOR PRODUCING SILICON OXIDE FILMS FROM ORGANOAMINOSILANE PRECURSORS
摘要
申请公布号
KR100903916(B1)
申请公布日期
2009.06.19
申请号
KR20070047512
申请日期
2007.05.16
申请人
发明人
分类号
C07F7/10;C07F7/02;H01L21/20
主分类号
C07F7/10
代理机构
代理人
主权项
地址
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