| 主权项 |
1.一种无尘设备结构，其系包括：至少一舱体，于舱体中设有黄光制程设备，且舱体设有至少一将尘粒子排出并阻绝尘粒子进入之排尘装置，舱体并设有至少一舱门，以及至少一工作手套。2.依申请专利范围第1项所述之无尘设备结构，其中该舱体于舱门一侧并设有一过渡舱，此过渡舱设有一与该舱体之舱门对应设置之另一舱门，且亦设有至少一将尘粒子排出并阻绝尘粒子进入之排尘装置。3.依申请专利范围第2项所述之无尘设备结构，其中该舱体于两侧分别设有一舱门，舱体并于各舱门之一侧设有一过渡舱。4.依申请专利范围第1项或第2项所述之无尘设备结构，其中该排尘装置系包括至少一将尘粒子排出之鼓风机以及至少一阻绝尘粒子进入之气体过滤器。5.依申请专利范围第1项所述之无尘设备结构，其中该工作手套系设于舱体，且与舱体间具有防尘构造，且于设置工作手套之舱体上方具有一供操作者于制程中方便检视舱内之斜角结构。6.依申请专利范围第1项所述之无尘设备结构，其中该舱体中设置之黄光制程设备包括一黄光专用之湿式工作台(Wet Bench)、一对准曝光机(Aligner)、一热板(Hot Plat)以及一旋涂机(Spin Coater)。7.一种无尘设备结构，其系包括：至少一舱体，于舱体中设有黄光制程设备，且舱体设有至少一将尘粒子排出并阻绝尘粒子进入之排尘装置，舱体并设有至少一舱门，以及至少一工作手套，该舱体于舱门一侧并设有一过渡舱，此过渡舱设有一与该舱体之舱门对应设置之另一舱门，且亦设有至少一将尘粒子排出并阻绝尘粒子进入之排尘装置。8.依申请专利范围第7项所述之无尘设备结构，其中该舱体于两侧分别设有一舱门，舱体并于各舱门之一侧设有一过渡舱。9.依申请专利范围第7项所述之无尘设备结构，其中，各该排尘装置系包括至少一将尘粒子排出之鼓风机以及至少一阻绝尘粒子进入之气体过滤器。10.依申请专利范围第7项所述之无尘设备结构，其中该工作手套系设于舱体，且与舱体间具有防尘构造，且于设置工作手套之舱体上方具有一供操作者于制程中方便检视舱内之斜角结构。11.依申请专利范围第7项所述之无尘设备结构，其中该舱体中设置之黄光制程设备包括一黄光专用之湿式工作台(Wet Bench)、一对准曝光机(Aligner)、一热板(Hot Plat)以及一旋涂机(Spin Coater)。12.一种无尘设备结构，其系包括：至少一舱体，于舱体中设有黄光制程设备，且舱体设有至少一将尘粒子排出之鼓风机以及至少一阻绝尘粒子进入之气体过滤器，舱体并设有至少一舱门，以及至少一工作手套，该舱体于舱门一侧并设有一过渡舱，此过渡舱设有一与该舱体之舱门对应设置之另一舱门，且亦设有至少一将尘粒子排出之鼓风机以及至少一阻绝尘粒子进入之气体过滤器。13.依申请专利范围第12项所述之无尘设备结构，其中该舱体于两侧分别设有一舱门，舱体并于各舱门之一侧设有一过渡舱。14.依申请专利范围第12项所述之无尘设备结构，其中该工作手套系设于舱体，且与舱体间具有防尘构造，且于设置工作手套之舱体上方具有一供操作者于制程中方便检视舱内之斜角结构。15.依申请专利范围第12项所述之无尘设备结构，其中该舱体中设置之黄光制程设备包括一黄光专用之湿式工作台(Wet Bench)、一对准曝光机(Aligner)、一热板(Hot Plat)以及一旋涂机(Spin Coater)。16.一种无尘设备结构，其系包括：至少一舱体，于舱体中设有黄光制程设备，且舱体设有至少一将尘粒子排出之鼓风机以及至少一阻绝尘粒子进入之气体过滤器，舱体并设有至少一舱门，以及至少一工作手套，该舱体于舱门一侧并设有一过渡舱，此过渡舱设有一与该舱体之舱门对应设置之另一舱门，且亦设有至少一将尘粒子排出之鼓风机以及至少一阻绝尘粒子进入之气体过滤器；该工作手套系设于舱体，且与舱体间具有防尘构造，且于设置工作手套之舱体上方具有一供操作者于制程中方便检视舱内之斜角结构；该舱体中设置之黄光制程设备包括一黄光专用之湿式工作台(Wet Bench)、一对准曝光机(Aligner)、一热板(Hot Plat)以及一旋涂机(Spin Coater)。17.一种无尘设备结构，其系包括：至少一舱体，于舱体中设有黄光制程设备，且舱体设有至少一将尘粒子排出之鼓风机以及至少一阻绝尘粒子进入之气体过滤器，该舱体于两侧分别设有一舱门，以及至少一工作手套，该舱体并于各舱门之一侧设有一过渡舱，此过渡舱设有一与该舱体之舱门对应设置之另一舱门，且亦设有至少一将尘粒子排出之鼓风机以及至少一阻绝尘粒子进入之气体过滤器；该工作手套系设于舱体，且与舱体间具有防尘构造，且于设置工作手套之舱体上方具有一供操作者于制程中方便检视舱内之斜角结构；该舱体中设置之黄光制程设备包括一黄光专用之湿式工作台(Wet Bench)、一对准曝光机(Aligner)、一热板(Hot Plat)以及一旋涂机(Spin Coater)。图式简单说明：第1图系本创作之平面俯视结构示意图第2图系本创作之平面侧视结构示意图第3图系本创作之第二实施例平面俯视结构示意图第4图系本创作之第三实施例平面俯视结构示意图 |
