一种可提高电极烧结机台烧结温度测量精准度的测量方法

摘要

本发明提供了一种可提高电极烧结机台烧结温度测量精准度的测量方法。现有技术中使用无掺杂的测试晶圆来测量电极烧结机台的烧结温度，会因电极烧结机台在正常作业时所处理的衬底晶圆多为P型而无法精准的测量出其在正常作业时的烧结温度。本发明使用一组P型重掺杂的测试晶圆在标准电极烧结机台的不同烧结温度下烧结，依据烧结后的测试晶圆的方块电阻及其对应的烧结温度来生成方块电阻与烧结温度的关系曲线，之后再将一P型重掺杂的测试晶圆设置在待测电极烧结机台进行烧结，然后测量烧结后的测试晶圆的方块电阻，最后依据所测得的方块电阻以及关系曲线得出该待测电极烧结机台的烧结温度。本发明大大提高了电极烧结机台的烧结温度测量的精准性。

主权项

1、一种可提高电极烧结机台烧结温度测量精准度的测量方法，该烧结温度在一预选温度范围中，该方法包括以下步骤：a、提供一组测试晶圆和一标准电极烧结机台，该组测试晶圆上覆盖有金属电极层；b、在该预选温度范围中选取不同的温度，且将该标准电极烧结机台的烧结温度分别设定为所选取的不同温度；c、将该组测试晶圆分别设置在该具有不同烧结温度的标准电极烧结机台进行烧结；d、测得经该不同烧结温度烧结后的测试晶圆的方块电阻；e、依据测得的方块电阻及其对应的烧结温度生成方块电阻与烧结温度的关系曲线；f、提供一测试晶圆和一待测电极烧结机台，该测试晶圆上覆盖有金属电极层；g、将该测试晶圆设置在待测电极烧结机台进行烧结；h、测量烧结后的该测试晶圆的方块电阻；i、依据所测得的方块电阻以及关系曲线得出该待测电极烧结机台的烧结温度；其特征在于，在步骤a和f中，该测试晶圆均为经P型重掺杂晶圆。