空间连续变形MEMS的可重用参数化组件建模方法

摘要

本发明公开了一种空间连续变形MEMS的可重用参数化组件建模方法，首先确定MEMS器件的各个动态控制方程、边界条件方程；然后对动态控制方程进行空间离散化，转换为常微分方程组；采用模拟与混合信号硬件描述语言进行编码，实现功能描述；最后绘制MEMS组件示意图，与编码进行连接，形成MEMS组件，供系统级建模和仿真分析时调用。本发明得到的组件模型可与电路一起进行系统仿真，对于建立具有空间连续变形行为特点的不同种类的可重用参数化组件模型具有指导作用；对于快速建立悬臂梁、桥、膜片等模型，进一步构建包含这些单元的器件或系统的模型并方便地完成相关整体特性仿真分析等具有重要支持作用。

主权项

1、一种空间连续变形MEMS的可重用参数化组件建模方法，其特征在于包括下述步骤：步骤1：根据MEMS器件所涉及的能量域及其耦合方式确定描述各个能量域及其耦合状态的动态控制方程、边界条件方程；步骤2：结合边界条件，对步骤1确定的描述各能量域的动态控制方程进行空间离散化，在各空间维度上对MEMS器件进行均匀网格划分，然后用差分式代替偏微分，从而把动态控制方程由偏微分方程形式转换为常微分方程组形式；步骤3：根据步骤2所确定的常微分方程组，以MEMS器件的尺寸参数和工艺参数为输入变量，采用模拟与混合信号硬件描述语言MAST或VHDL-AMS进行编码，实现器件的功能描述；步骤4：绘制MEMS组件示意图，与编码进行连接，形成供系统级建模和仿真分析时调用的MEMS组件。