硅电容式麦克风

摘要

本发明涉及微型麦克风领域，具体指一种应用于电子设备上，具有更加灵敏度的硅电容式麦克风，在远离背板方向的支撑层上收容连接着与背板相对的振膜，振膜包括处于位置的振膜主体和振膜主体外圆周侧衍生的多个悬置曲臂，振摸的边缘部固连接着支撑层，由于振膜结构采用万字形支撑，有效增加了悬置曲臂的等效长度，增大了整体结构的弹性，减小振膜周边缘的约束，振膜变形较悬置曲臂的变形可忽略，测量结果线性度优于周边固定电容式麦克风，可以有效提高灵敏度、频响度和减小了噪音。

主权项

1、一种硅电容式麦克风，包括一中心有贯穿孔的基底、基底上设有带有导气孔的背板、与背板相对设有振膜以及电极单元；振摸与电极单元连接致使振膜与背板构成电容系统，其特征在于：所述振膜包括处于中央位置的振膜主体和由振膜主体外周侧衍生延伸的多个悬置曲臂，悬置曲臂在振膜主体的外周组成同心曲环，同心曲环与振膜主体的外周形状相对应。