发明名称 Verfahren zur Materialbearbeitung mit Laserimpulsen großer spektraler Bandbreite und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
摘要
申请公布号 DE10203198(B4) 申请公布日期 2009.06.10
申请号 DE2002103198 申请日期 2002.01.21
申请人 CARL ZEISS MEDITEC AG 发明人 BISCHOFF, MARK;HACKER, MARTIN;SAUERBREY, ROLAND;STOBRAWA, GREGOR;ZIEGLER, WOLFGANG
分类号 B23K26/06;B23K26/03;B81C99/00;G02B6/00;H01L21/768;H01L23/525 主分类号 B23K26/06
代理机构 代理人
主权项
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