用于制造平板显示器的设备

摘要

一种平板显示器(FPD)制造设备，其构造能容易地处理大尺寸基板，同时实现容易的制造、运输、运转和修理过程。

主权项

1. 一种用于在平板显示器制造设备的装载锁定室中装载基板的方法，包括以下步骤：A)打开装载锁定室的开口，并通过使用基板馈送自动机穿过装载锁定室的打开开口将基板插入到装载锁定室中，同时将基板馈送自动机的末端执行器插入到形成于装载锁定室的底壁处的末端执行器容纳凹槽中；B)降低在末端执行器容纳凹槽中的基板馈送自动机的末端执行器，直到末端执行器上的基板被放置在装载锁定室的底壁上，由此在装载锁定室中装载基板；C)水平移动基板馈送自动机，直到末端执行器从装载锁定室完全移出，由此从装载锁定室退出馈送自动机；以及D)关闭装载锁定室的开口，以及在装载锁定室中建立真空环境。