用于光刻的光源

摘要

公开了一种用于光刻的混合光源。根据本发明的实施例，光源包括：头部，耦合到头部的第一组极，该第一组极设置在邻近于头部的外部边缘处，以及耦合到头部的第二组极，其位于所述外部边缘和头部中心之间。根据本发明进一步的实施例，可调整该极以改变光源的特性。

主权项

1. 一种光源，包括：光源头部；第一组极，其耦合到光源头部，其中第一组极中的每一个极具有弧形形状；和第二组极，其耦合到光源头部，该第二组极设置在第一组极和光源头部的中心之间，其中该第二组极中的每一个极具有圆形状或者椭圆形状。