发明名称 改善SRAM匹配度的方法
摘要 一种改善SRAM匹配度的方法,包括,测量根据SRAM布图形成的SRAM中的一对对称MOS管的电性参数;根据所述电性参数判断所述对称MOS管是否匹配,若所述对称MOS管不匹配,则改变不匹配的MOS管中与所测量的电性参数相关的布图特征量,并重复上述步骤直到所述对称MOS管匹配。所述改善SRAM匹配度的方法通过改变所述不匹配管的电学性能,从而改善SRAM的匹配度。
申请公布号 CN101452742A 申请公布日期 2009.06.10
申请号 CN200710094402.2 申请日期 2007.12.07
申请人 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 发明人 黄艳;黄威森
分类号 G11C11/417(2006.01)I;G11C29/00(2006.01)I 主分类号 G11C11/417(2006.01)I
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 代理人 逯长明
主权项 1. 一种改善SRAM匹配度的方法,其特征在于,包括下列步骤,测量根据SRAM布图形成的SRAM中的一对对称MOS管的电性参数;根据所述电性参数判断所述对称MOS管是否匹配,若所述对称MOS管不匹配,则改变不匹配的MOS管中与所测量的电性参数相关的布图特征量,并重复上述步骤直到所述对称MOS管匹配。
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