| 发明名称 | 基板输送装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供构成不复杂、具有稳定且高精度的输送性的基板输送装置。本发明的基板输送装置(30)具有：一端设置在基台而另一端与基板支撑用的手部(32)连接的多关节臂(31)，引导手部(32)的直线移动的线性导向件(36)，沿线性导向件(36)的导轨(37a)使手部(32)移动的带驱动机构(38)。这样构成的基板输送装置(30)由多关节臂(31)支撑作用于手部(32)的负荷，由线性导向件(36)保证手部(32)的直接输送性。因此，由于不需要用于通过止点的特别机构，所以可防止构成的复杂化。另外，由于负荷不直接作用在线性导向件(36)上，所以可得到高的输送精度。 | ||
| 申请公布号 | CN101454888A | 申请公布日期 | 2009.06.10 |
| 申请号 | CN200780019765.8 | 申请日期 | 2007.05.28 |
| 申请人 | 株式会社爱发科 | 发明人 | 中尾裕利 |
| 分类号 | H01L21/677(2006.01)I;B65G49/06(2006.01)I;B25J9/06(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/677(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 何腾云 |
| 主权项 | 1. 一种基板输送装置，其特征在于，具有：一端设置在基台上而另一端连接在基板支撑用手部上的多关节臂，引导所述手部的直线移动的线性导向件，以及使所述手部沿所述线性导向件的导轨移动的带驱动机构。 | ||
| 地址 | 日本神奈川 | ||