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Chemikalienresistente Halterung für Chips mit empfindlichen Strukturen auf der Oberseite, wobei der Chip (1) eine Unterseite, mehrere Seitenflächen (2, 3) und eine die empfindlichen Strukturen tragende Oberseite (4) aufweist. Erfindungsgemäß umfasst die Halterung eine Auflagefläche (5), auf die der Chip (1) mit seiner Unterseite auflegbar ist, mindestens zwei Anlageflächen (7a, 8a), zwischen denen der Chip (1) mit mindestens zwei seiner Seitenflächen (2, 3) durch seitlich wirkende Federkräfte fixierbar ist, und eine Federeinrichtung (6) zur Erzeugung der seitlich wirkenden Federkräfte an mindestens einer der mindestens zwei Anlageflächen (7a, 8a), wobei die Halterung aus einem chemikalienbeständigen Material besteht.
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