发明名称 Verfahren zur Nanostrukturierung eines Substrats
摘要
申请公布号 DE102006023940(B4) 申请公布日期 2009.06.10
申请号 DE200610023940 申请日期 2006.05.19
申请人 LASER-LABORATORIUM GOETTINGEN E.V. 发明人 KLEIN-WIELE, JAN-HENDRIK
分类号 B23K26/16;B23K26/36 主分类号 B23K26/16
代理机构 代理人
主权项
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