去除受损电介质材料的方法

摘要

本发明描述了一种在蚀刻工艺、灰化工艺或湿法清洁工艺后去除受损的电介质材料的方法。在形成特征之后，进行干法非等离子体去除工艺以去除特征上的受损材料的薄层。干法非等离子体去除工艺包括：化学处理受损材料，然后对经化学处理的表面层进行热处理。化学处理和热处理这两个步骤可以重复进行。

主权项

1. 一种处理衬底上的电介质膜的方法，包括：将具有所述电介质膜的所述衬底布置在处理系统中，其中所述电介质膜的表面层已被暴露于蚀刻等离子体、灰化等离子体或湿法清洁化学剂或其中两种或更多种的任意组合；和在所述电介质膜上进行干法非等离子体去除工艺，以去除所述表面层，所述去除工艺包括：将所述电介质膜上的所述表面层暴露于包含HF或NH3或其组合的处理气体，以将所述表面层化学改性；和将经化学改性的所述表面层热处理，以使经化学改性的所述表面层脱附。