| 发明名称 | 双重（共焦和干涉）技术光学轮廓曲线仪 | ||
| 摘要 | 该设备包括光源(LED)，光束分束器(至少其中之一是偏振的)，照射图案生成装置(LCOS微型显示器)和可互换的显微镜透镜，所述显微镜透镜是可用于获得共焦像的传统透镜和可用于获得干涉像的干涉透镜。该微型显示器可以生成一系列照射图案，以获得共焦像，或可以完全开放所有的照射像素以获得干涉像。该设计是紧凑的并可以在微米和纳米级别上对包括由不同材料组成的结构或成层样品的所有类型的表面的形状和纹理进行非接触快速测量。 | ||
| 申请公布号 | CN100498416C | 申请公布日期 | 2009.06.10 |
| 申请号 | CN200580012715.8 | 申请日期 | 2005.04.20 |
| 申请人 | 加泰罗尼亚理工大学 | 发明人 | 费兰·拉瓜尔塔·贝尔特兰;罗赫尔·阿蒂加斯·普尔萨斯;克里斯蒂娜·卡德瓦尔·阿蒂格斯 |
| 分类号 | G02B21/00(2006.01)I;G01B9/04(2006.01)I;A61B3/12(2006.01)I;G01N21/47(2006.01)I | 主分类号 | G02B21/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人 | 林锦辉 |
| 主权项 | 1、双重技术的光学轮廓曲线仪(1)，包括光源(2)，光束分束器(3，4)和一系列显微镜透镜(6，7，8)，其特征在于，所述显微镜透镜(6，7，8)是可互换的，所述显微镜透镜(6，7，8)包括可用于获得样品(11)的表面的共焦像的传统透镜和可用于获得所述样品(11)的表面的干涉像的干涉透镜，所述双重技术的光学轮廓曲线仪(1)还包括照射图案生成装置(5)，所述照射图案生成装置(5)包括硅基液晶微型显示器，当使用传统透镜获得共焦像时，所述硅基液晶微型显示器生成一系列照射图案，其借助合适的算法应用提供了共焦像，及当使用所述干涉透镜获得干涉图像时，允许所有照射像素被开放，从而可以获得干涉像。 | ||
| 地址 | 西班牙巴塞罗纳 | ||