| 发明名称 |
薄膜晶体管基板 |
| 摘要 |
一种薄膜晶体管基板，其包括：一玻璃基底及设置在该玻璃基底上的栅极/栅极线，该栅极/栅极线为依次设置有附着层、导电层及阻障层的多层金属结构，该附着层及阻障层分别为三明治结构，该三明治结构中间层均为与该导电层材料相同的薄膜层。本发明薄膜晶体管基板可以防止产生短路，可改善后续薄膜覆盖性。 |
| 申请公布号 |
CN100499110C |
申请公布日期 |
2009.06.10 |
| 申请号 |
CN200610062892.3 |
申请日期 |
2006.09.29 |
| 申请人 |
群康科技(深圳)有限公司;群创光电股份有限公司 |
发明人 |
颜硕廷 |
| 分类号 |
H01L23/532(2006.01)I;H01L29/49(2006.01)I;H01L27/12(2006.01)I;H01L29/786(2006.01)I |
主分类号 |
H01L23/532(2006.01)I |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
1. 一种薄膜晶体管基板，其包括一玻璃基底及设置于该玻璃基底上的栅极/栅极线，该栅极/栅极线为依次设置有附着层、导电层及阻障层的多层金属结构，其特征在于：该附着层及阻障层分别为三明治结构，该三明治结构中间层均为与该导电层材料相同的薄膜层。 |
| 地址 |
518109广东省深圳市宝安区龙华镇富士康科技工业园E区4栋1层 |
