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经营范围
发明名称
Verfahren und Vorrichtung zum optischen Inspizieren einer Oberfläche an einem Gegenstand
摘要
申请公布号
DE102007034689(B4)
申请公布日期
2009.06.10
申请号
DE200710034689
申请日期
2007.07.12
申请人
CARL ZEISS AG
发明人
KNUPFER, KLAUS;SPRUCK, BERND;KIMMIG, WOLFGANG;BECK, ROLF
分类号
G01N21/88
主分类号
G01N21/88
代理机构
代理人
主权项
地址
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