发明名称 Chemical mechanical polishing for isolation dielectric planarization
摘要
申请公布号 EP0926715(B1) 申请公布日期 2009.06.10
申请号 EP19980310556 申请日期 1998.12.22
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED 发明人 OLSEN, LEIF C.;SWANSON, LELAND S.;EDWARDS, HENRY L.
分类号 H01L21/3065;H01L21/304;H01L21/3105;H01L21/762;H01L21/768 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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