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发明名称 Halbleiterbauelement und Verfahren zum Herstellen eines solchen
摘要
申请公布号 DE102006057384(B4) 申请公布日期 2009.06.10
申请号 DE200610057384 申请日期 2006.12.04
申请人 MICRONAS GMBH;MICRONAS HOLDING GMBH 发明人 SIEBEN, ULRICH;LEHMANN, MIRKO;BURGHARTZ, JOACHIM
分类号 B81C1/00;B81B1/00;B81B3/00;G01D5/12;H01L49/00 主分类号 B81C1/00
代理机构 代理人
主权项
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