| 发明名称 | 方形基片涂胶单元中的自动扣盖机构 | ||
| 摘要 | 本发明涉及方形基片涂胶领域，具体为一种方形基片涂胶单元中的自动扣盖机构，应用于方形基片(如光刻掩膜板、平板显示器)涂胶工艺中涂胶腔体自动扣盖和开启功能。该自动扣盖机构设有内盖和外盖两层盖结构，外盖中心开孔，其上表面设有定位销子I；内盖中心通过连接件穿过外盖中心孔连有定位板，定位板通过其上开设的销孔与外盖上的定位销子I相对应；方形基片涂胶单元的承片台上安装旋转盖板，旋转盖板表面设有定位销子II，内盖通过其上开设的销孔与旋转盖板上的销子II相对应。本发明整个扣盖机构由一气缸驱动上下运动，可以完成自动扣盖和开启动作，它解决了方形基片的均匀涂胶等问题。 | ||
| 申请公布号 | CN101452209A | 申请公布日期 | 2009.06.10 |
| 申请号 | CN200710158654.7 | 申请日期 | 2007.11.30 |
| 申请人 | 沈阳芯源微电子设备有限公司 | 发明人 | 陈焱 |
| 分类号 | G03F7/16(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/16(2006.01)I |
| 代理机构 | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 | 代理人 | 张志伟 |
| 主权项 | 1、一种方形基片涂胶单元中的自动扣盖机构，其特征在于：该自动扣盖机构设有内盖(6)和外盖(7)两层盖结构，外盖(7)中心开孔，其上表面设有定位销子I(9)；内盖(6)中心通过连接件穿过外盖(7)中心孔连有定位板(11)，定位板(11)通过其上开设的销孔与外盖(7)上的定位销子I(9)相对应；方形基片涂胶单元的承片台(3)上安装旋转盖板(4)，旋转盖板(4)表面设有定位销子II(10)，内盖(6)通过其上开设的销孔与旋转盖板(4)上的销子II(10)相对应。 | ||
| 地址 | 110168辽宁省沈阳市浑南新区飞云路16号 | ||