一种纳米压印光刻机

摘要

本发明公开了一种纳米压印光刻机，包括底座、加热板、垫片、内六角螺钉、支架、传动导向压杆、槽沉头螺钉、螺杆和扭力计。所述加热板放置在底座上，垫片放置在加热板上，支架放置在垫片上，且所述支架、垫片和加热板通过内六角螺钉固定在底座上；所述支架的上梁中心处设有螺孔，下梁中心处设有通孔；螺杆套接在上梁螺孔内，传动导向压杆套接在下梁通孔内，螺杆和传动导向压杆相连并套接在支架的梁上；所述槽沉头螺钉从支架下梁前面中心处螺孔旋进，并顶住传动导向压杆中间圆柱外表面的条形凹槽；所述螺杆上端与扭力计相连。本发明提供一种结构简单、制作成本低、操作方便和使用可靠的纳米压印光刻机。

主权项

1、一种纳米压印光刻机，包括底座(11)、加热板(12)、垫片(13)、内六角螺钉(14)、支架(15)、传动导向压杆(16)、十字槽沉头螺钉(17)、螺杆(18)和扭力计(19)，其特征在于，所述加热板(12)放置在底座(11)上，垫片(13)放置在加热板(12)上，支架(15)放置在垫片(13)上，且所述支架(15)、垫片(13)和加热板(12)通过内六角螺钉(14)固定在底座(11)上；所述支架(15)的上梁中心处设有螺孔，下梁中心处设有通孔；螺杆(18)套接在上梁螺孔内，传动导向压杆(16)套接在下梁通孔内，螺杆(18)和传动导向压杆(16)相连并套接在支架(15)的梁上；所述十字槽沉头螺钉(17)从支架(15)下梁前面中心处螺孔旋进，并顶住传动导向压杆(16)中间圆柱外表面的条形凹槽；所述螺杆(18)上端与扭力计(19)相连。