高效能缓冲仓储装置

摘要

本发明是有关于一种缓冲仓储装置，包含一高架式输送轨道以及至少一输送系统或输送带。高架式输送轨道是供支撑多数个用来输送晶圆盒的高架式输送车。至少一输送系统或输送带是设于该高架式输送轨道下方，以供接收高架式输送轨道上的高架式输送车中的晶圆盒。举例来说，该缓冲仓储装置可吸收晶圆盒在仓储装置与制程机台间移动的过多流量；例如可促进在半导体制造厂中多数个输送车间具有一种有秩序且高效率的移动流量。

主权项

1、一种缓冲仓储装置，其特征在于其至少包含：一高架式输送轨道，以供支撑多数个分别输送晶圆盒的高架式输送车；至少一输送系统，设于该高架式输送轨道下方，以供接收高架式输送轨道上的高架式输送车上的晶圆盒，其中该至少一输送系统包含一上层输送系统、一中层输送系统以及一下层输送系统，其中该下层输送系统位于该上层输送系统下方，而该中层输送系统位于该上层输送系统以及该下层输送系统之间，其中该上层输送系统、该中层输送系统以及该下层输送系统分别包含一输送带回路，并分别利用输送带回路载运输送晶圆盒。