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发明名称 VARIABLE SLIT DEVICE, ILLUMINATING DEVICE, EXPOSURE DEVICE, EXPOSURE METHOD, AND METHOD OF MANUFACTURING DEVICE
摘要
申请公布号 EP2031640(A4) 申请公布日期 2009.06.10
申请号 EP20070744932 申请日期 2007.06.08
申请人 NIKON CORPORATION 发明人 MURAMATSU, KOUJI
分类号 H01L21/027;G03F7/20 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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