用于凸起检查的方法和装置

摘要

本发明公开了一种动态成像、校准、及测量表面(18)上的多个凸起(16)的凸起高度和共面度的方法，包括：用来自至少一个光源(12)的多光谱灯照亮这多个凸起(16)；以及在成像器件(20)处接收第一波长的光，以使第一波长的光与该表面成第一角度地从这多个凸起(16)反射出；以及捕获这多个凸起(16)的至少一部分的俯视图像。在成像器件(20)处接收第二波长的光，以使第二波长的光与该表面成第二角度地从这多个凸起(16)反射出，以及捕获这多个凸起(16)的至少一部分的至少一个倾斜侧视图像。处理被捕获的图像以确定绝对凸起高度和共面度。还可使用波长选择滤光器(36、40)和分色镜(25、28、30)。

主权项

1. 一种动态成像、校准、及测量表面上的多个凸起的凸起高度和共面度的方法，所述方法包括：a)用来自至少一个光源的多光谱灯照亮所述多个凸起；b)在成像器件处接收第一波长的光，以捕获所述多个凸起的至少一部分的俯视图像，所述第一波长的光已经与所述表面成第一角度地从所述多个凸起反射出；c)在所述成像器件处接收第二波长的光，以捕获所述多个凸起的至少一部分的至少一个倾斜侧视图像，所述第二波长的光已经与所述表面成第二角度地从所述多个凸起反射出；以及d)处理被捕获的图像以确定绝对凸起高度和共面度。