发明名称 |
具有对称性的薄膜晶体管组件 |
摘要 |
本发明涉及一种具有对称性的薄膜晶体管组件,其包括:一基板、一多晶硅层以及多个晶体管。该多晶硅层形成于该基板上,且具有多个朝一结晶方向排列的硅晶粒;该每一多个晶体管包含有形成于该多晶硅层中的一源极区域、一漏极区域以及一信道区域,其中该信道区域位于该源极区域与该漏极区域之间,且为一对称的图案结构,使该多个晶体管的通道电流实质上流经相同的硅晶粒。本发明可避免发生电性不均匀的情况,同时增加电路设计的自由度,并减少晶体管所占用的电路面积。 |
申请公布号 |
CN100499136C |
申请公布日期 |
2009.06.10 |
申请号 |
CN200610065479.2 |
申请日期 |
2006.03.22 |
申请人 |
财团法人工业技术研究院 |
发明人 |
陈柏求;何金原 |
分类号 |
H01L27/12(2006.01)I;H01L29/786(2006.01)I |
主分类号 |
H01L27/12(2006.01)I |
代理机构 |
北京律诚同业知识产权代理有限公司 |
代理人 |
梁 挥;徐金国 |
主权项 |
1、一种具有对称性的薄膜晶体管组件,其特征在于,包括:一基板;一多晶硅层,形成于该基板上,其具有多个朝一结晶方向排列的硅晶粒;以及多个晶体管,该每一晶体管包含有形成于该多晶硅层中的一源极区域、一漏极区域以及一信道区域,其中该信道区域位于该源极区域与该漏极区域之间,且为一对称的图案结构,使该多个晶体管的通道电流流经相同的硅晶粒;所述晶体管为L型或扇形的结构布局,彼此之间以90度角度差排列。 |
地址 |
中国台湾新竹县 |