发明名称 具有对称性的薄膜晶体管组件
摘要 本发明涉及一种具有对称性的薄膜晶体管组件,其包括:一基板、一多晶硅层以及多个晶体管。该多晶硅层形成于该基板上,且具有多个朝一结晶方向排列的硅晶粒;该每一多个晶体管包含有形成于该多晶硅层中的一源极区域、一漏极区域以及一信道区域,其中该信道区域位于该源极区域与该漏极区域之间,且为一对称的图案结构,使该多个晶体管的通道电流实质上流经相同的硅晶粒。本发明可避免发生电性不均匀的情况,同时增加电路设计的自由度,并减少晶体管所占用的电路面积。
申请公布号 CN100499136C 申请公布日期 2009.06.10
申请号 CN200610065479.2 申请日期 2006.03.22
申请人 财团法人工业技术研究院 发明人 陈柏求;何金原
分类号 H01L27/12(2006.01)I;H01L29/786(2006.01)I 主分类号 H01L27/12(2006.01)I
代理机构 北京律诚同业知识产权代理有限公司 代理人 梁 挥;徐金国
主权项 1、一种具有对称性的薄膜晶体管组件,其特征在于,包括:一基板;一多晶硅层,形成于该基板上,其具有多个朝一结晶方向排列的硅晶粒;以及多个晶体管,该每一晶体管包含有形成于该多晶硅层中的一源极区域、一漏极区域以及一信道区域,其中该信道区域位于该源极区域与该漏极区域之间,且为一对称的图案结构,使该多个晶体管的通道电流流经相同的硅晶粒;所述晶体管为L型或扇形的结构布局,彼此之间以90度角度差排列。
地址 中国台湾新竹县