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发明名称 ADAPTER FÜR ZERSTÄUBUNGSKATHODE
摘要
申请公布号 DE60327433(D1) 申请公布日期 2009.06.10
申请号 DE20036027433 申请日期 2003.05.14
申请人 TOKYO ELECTRON LTD. 发明人 LAWSON, JOHN;IRWIN, DALE;CHERVENAK, SETVE;MCINTEE, JOHN
分类号 C23C14/34;H01J37/34;H01L21/285 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
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