Method for improving leaning when cylinder type DRAM capacitor is formed,申请号KR20020086438-传众专利搜索

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发明名称	Method for improving leaning when cylinder type DRAM capacitor is formed
摘要
申请公布号	KR100902101(B1)	申请公布日期	2009.06.09
申请号	KR20020086438	申请日期	2002.12.30
申请人		发明人
分类号	H01L27/108;(IPC1-7):H01L27/108	主分类号	H01L27/108
代理机构		代理人
主权项
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