Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauelements mit einem volumenelastischen Medium und mikromechanischen Bauelement

摘要

Es wird ein Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauelements vorgeschlagen, wobei das mikromechanische Bauelement ein Medium aufweist. Das Medium besitzt einstellbare und veränderbare volumenelastische Eigenschaften und umschließt ein Sensormodul und/oder ein Modulgehäuse im Wesentlichen vollständig. Das Medium weist bevorzugt ein Tiefpassverhalten auf.