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Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Reihe von Vorrichtungen zur trockenen Reinigung, Aktivierung, Modifizierung, Beschichtung und biologischen Dekontamination (Entkeimung, Desinfektion, Sterilisation) von Oberflächen mittels eines durch eine so genannte Oberflächen-Barrierenentladung erzeugten Atmosphärendruckplasmas. Die Erfindung dient zur trockenen Reinigung, Aktivierung, Beschichtung, Modifikation und biologischen Dekontamination von Oberflächen mittels eines durch eine Oberflächen-Barrierenentladung in einer definierten, strömenden Gasatmosphäre erzeugten Atmosphärendruckplasmas, umfassend eine mit einem Dielektrikum oder Ferroelektrikum bedeckte Hochspannungselektrode, eine elektrisch leitende geerdete Kontaktelektrode, eine Hochspannungsversorgung und eine Gaszufuhr, eine Gasdüse mit einer Gasaustrittsöffnung, wobei sich die Gasdüse in unmittelbarer Nähe zur geerdete Kontakteleketrode befindet oder die Gasdüse in die Kontakteleketrode integriert ist oder die Gasdüse selbst als geerdete Kontaktelektrode fungiert und die Gasaustrittsöffnung so konstruiert ist, dass ein austretender Gasstrom auf die Kontaktstelle der geerdeten Kontaktelektrode gerichtet ist. Das Verfahren ist dadurch gekennzeichnet, dass die Kontakteleketrode mit der Gasdüse und das zu behandelnde Material relativ zueinander bewegt werden.
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