发明名称 |
Vakuumkammer auf Rahmenbasis für Beschichtungsanlagen |
摘要 |
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Vakuumkammer und deren Herstellung. Erfindungsgemäß umfasst die Vakuumkammer einen Rahmen, in den Einsatzplatten eingesetzt werden. Die Einsatzplatten bilden zusammen mit dem Rahmen einen abgeschlossenen Raum, in dem ein Vakuum aufgebaut werden kann. Vorzugsweise wird der Mantel des Rahmens aus einem einstückigen Metallstück, bei dem großflächig Material herausgenommen wird, wodurch Öffnungen für die Einsatzplatten entstehen. Dies hat unter anderem den Vorteil, dass dort, wo die Einzelplatten eingesetzt werden, keine Schweißnähte nötig sind.
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申请公布号 |
DE102007057644(A1) |
申请公布日期 |
2009.06.04 |
申请号 |
DE200710057644 |
申请日期 |
2007.11.28 |
申请人 |
OERLIKON TRADING AG, TRUEBBACH |
发明人 |
ZUEND, FREDDY;MAYER, MARCO;KRASNITZER, SIEGFRIED;GWEHENBERGER, JUERGEN |
分类号 |
C23C14/00;C23C16/54 |
主分类号 |
C23C14/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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