Transferkammer für eine Vakuumbeschichtungsanlage und Vakuumbeschichtungsanlage

摘要

Bei einer Transferkammer mit einem Gehäuse, das einen Transferbereich und einen Passingband-Bereich aufweist, wobei im Transferbereich des Gehäuses eine Transporteinrichtung mit einer ersten Anordnung von Transportrollen angeordnet ist und wobei im Passingband-Bereich des Gehäuses ein Passingband mit einer zweiten Anordnung von Transportrollen angeordnet ist, wird vorgeschlagen, dass das Gehäuse im Passingband-Bereich durch eine oberhalb des Passingbands angeordnete horizontale Wand in einen Transportraum unterhalb der Wand und einen Pumpraum oberhalb der Wand unterteilt wird und dass der Pumpraum mindestens einen Vakuumanschluss oder/und eine Vakuumpumpe aufweist.