发明名称 PARTICLE DEPOSITION EQUIPMENT
摘要
申请公布号 KR100901193(B1) 申请公布日期 2009.06.04
申请号 KR20070070121 申请日期 2007.07.12
申请人 发明人
分类号 C23C14/00;C23C16/00 主分类号 C23C14/00
代理机构 代理人
主权项
地址