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发明名称 DOUBLE SIDE POLISHING AND POLISHING METHOD HAVING THE SAME
摘要
申请公布号 KR100901019(B1) 申请公布日期 2009.06.04
申请号 KR20070081235 申请日期 2007.08.13
申请人 发明人
分类号 B24B37/08;B24B7/17;B24B37/26;H01L21/304 主分类号 B24B37/08
代理机构 代理人
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