PRESSURE SENSOR WITH MOLYBDENUM SILICIDE FOR SHIELDING

摘要

Es ist ein Drucksensor-Chip zur Messung eines Drucks beschrieben, mit dem ein druckabhängiges Ausgangssignal erzielbar ist, das eine hohe Langzeitstabilität aufweist, mit einem Membranträger (1) aus Silizium, einer Messmembran (3) aus Silizium, auf die im Messbetrieb ein zu messender Druck (p) einwirkt, auf einer Oberseite der Messmembran (3) angeordneten Sensorelementen (7), die dazu dienen eine vom einwirkenden Druck (p) anhängige Auslenkung der Messmembran (3) in ein elektrisches Ausgangssignal umzuwandeln, einer auf der Oberseite der Messmembran (3) angeordneten Passivierungsschicht (13), die die Sensorelemente (7) überdeckt, und einer auf der Passivierungsschicht (13) aufgebrachten, die Sensorelemente (7) überdeckenden elektrischen Abschirmung (15) aus Molybdänsilizid.