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Die Einrichtung zur ortsaufgelösten Messung der Lumineszenz einer Halbleiterprobe (42), insbesondere eines Halbleiter-Wafers oder eines Teils davon, besitzt einen Aufnahmeteller (24) für die Halbleiterprobe (42). Dieser Aufnahmeteller (24) ist auf einem xy-Kreuztisch (4, 6) montiert und kann mit einem Antrieb (28) in Rotation versetzt werden. Es ist eine Einrichtung (50) zur Erzeugung von Lumineszenz-Licht (55) auf der Halbleiterprobe (42) vorhanden. Des weiteren ist eine optische Einrichtung (11) vorgesehen, um Lumineszenz-Licht (56) einem Detektor (66) zuzuführen, wobei die Oberfläche der Halbleiterprobe (42) im Bereich des Fokuspunkts (49) der optischen Einrichtung (11) liegt. Mittels einer Befestigungseinrichtung (8) ist es möglich, den rotierbaren Aufnahmeteller (24) bei Bedarf von dem xy-Kreuztisch (4, 6) abzunehmen und durch einen Kryostaten (70) mit einem optischen Fenster (80) und einer weiteren Halbleiterprobe (78) zu ersetzen, wobei die Höhe der Oberfläche der weiteren Halbleiterprobe (78) dann im wesentlichen im Fokuspunkt (49) der optischen Einrichtung (11) liegt.
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