角速度传感器

摘要

本发明提供一种角速度传感器，通过使用开关而在接头上产生同相的驱动信号，使臂(2)、(3)同时向音叉振子1的Z方向弯曲。分别由第一放大器和第二放大器对在臂(2)、(3)上设置的第十电极(22)和第十二电极(25)所得到的电荷进行放大处理。将这些输出值输入到差动放大器，由比较器对该输出值和由基准值发生装置所产生的规定值进行比较，在超过规定值的情况下判断为异常。由此，在音叉振子上不设置特别的异常诊断用信号输入电极、以及用于降低角速度输出的检测误差的基准电位接地电极的情况下，就能够进行异常诊断。

主权项

1. 一种角速度传感器，其特征在于，包括：音叉振子，具有至少两个臂以及连接于该臂的至少一个基部；驱动部，设置在所述音叉振子的至少一个臂的至少一个主面上，用于在X方向或者Z方向激励振动所述音叉振子；检测部，设置在所述音叉振子的至少一个臂的至少一个主面上，用于检测所述音叉振子相对于所输入的角速度在Z方向振动的挠度；第一驱动电路，用于通过所述驱动部使所述音叉振子在其X方向激励振动；检测电路，具有用于对由所述检测部输出的信号进行放大而得到角速度信号的放大器；第二驱动电路，用于供给由所述驱动部使所述音叉振子在其Z方向激励振动的驱动信号；以及自诊断电路，在通过所述第二驱动电路向所述驱动部施加驱动信号时，将所述放大器的输出与基准值比较，在不能得到规定值的情况下判断为异常。