发明名称 修正仪表示值的方法及装置
摘要 本发明提供了一种修正仪表示值的方法,包括下列步骤:1)提供离散的标准数据;2)利用离散的标准数据,采用回归分析的方法,得到描述修正后仪表示值和原始的仪表示值之间关系的修正函数;3)将原始的仪表示值代入修正函数,计算得到修正后的仪表示值本发明还提供了一种修正仪表示值的装置。本发明的优点在于,通过采用校准结果提供的离散的标准数据,计算出修正公式,可以对仪表在连续区间内的示值进行修正。
申请公布号 CN101446503A 申请公布日期 2009.06.03
申请号 CN200710171090.0 申请日期 2007.11.27
申请人 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 发明人 王邕保
分类号 G01D18/00(2006.01)I 主分类号 G01D18/00(2006.01)I
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 代理人 逯长明
主权项 1. 一种修正仪表示值的方法,其特征在于,包括下列步骤:1)提供离散的标准数据;2)利用离散的标准数据,采用回归分析的方法,得到描述修正后仪表示值和原始的仪表示值之间关系的修正函数;3)将原始的仪表示值代入修正函数,计算得到修正后的仪表示值。
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