电阻加热舟皿及其制造方法

摘要

本发明公开了一种电阻加热舟皿，及其用于在电阻加热装置中将金属蒸发物真空蒸发沉积至底物上的制造方法。该舟皿包括一个成型为舟皿的石墨块和一个保护屏障，该保护屏障形成于石墨表面上，用于阻止石墨层与金属蒸发物反应。该保护屏障具有富铝层和含氮化合物层。根据本发明，可以实现金属(包括铝)的稳定连续的蒸发。

主权项

1. 一种电阻加热舟皿，用于以电阻加热方式使金属蒸发物真空沉积至底物，该舟皿包括：待成型为舟皿的石墨块；和保护屏障，其厚度为20微米至200微米，其形成于石墨表面上，用于阻止石墨层与金属蒸发物反应，其中保护屏障包括：富铝化合物层、含氮化合物层和含硼化合物层，所述含氮化合物层的主要成分为氮化铝，所述含硼化合物层以块状结晶沉积物的形式分布。