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发明名称 PASSIVE GAS FLOW MANAGEMENT AND FILTRATION DEVICE FOR USE IN AN EXCIMER OR TRANSVERSE DISCHARGE LASER
摘要
申请公布号 EP1649567(B1) 申请公布日期 2009.06.03
申请号 EP20040776754 申请日期 2004.06.17
申请人 AMO MANUFACTURING USA, LLC 发明人 BLIVEN, BRIAN;TURNQUIST, DAVID
分类号 H01S3/22;H01S;H01S3/036;H01S3/223 主分类号 H01S3/22
代理机构 代理人
主权项
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