发明名称
摘要
申请公布号 JP4273533(B2) 申请公布日期 2009.06.03
申请号 JP19980059999 申请日期 1998.03.11
申请人 发明人
分类号 H01L21/265;H01L21/764;H01L21/02;H01L21/302;H01L27/12 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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