发明名称 粘合片、与切割胶带一体化粘合片以及半导体的制造方法
摘要 本发明涉及粘合片、与切割胶带一体化粘合片以及半导体的制造方法。本发明提供半导体装置的制造方法,其特征在于,包括以下工序:通过在室温以下将半导体晶片、粘合片及切割胶带的层叠物进行扩张,切割半导体晶片及粘合片,形成带有多个单片化了的粘合片的半导体芯片。
申请公布号 CN101447413A 申请公布日期 2009.06.03
申请号 CN200810186927.3 申请日期 2004.06.04
申请人 日立化成工业株式会社 发明人 稻田祯一;增野道夫;宇留野道生
分类号 H01L21/00(2006.01)I;H01L21/78(2006.01)I;C09J7/00(2006.01)I 主分类号 H01L21/00(2006.01)I
代理机构 北京银龙知识产权代理有限公司 代理人 钟 晶
主权项 1. 一种半导体装置的制造方法,其特征在于:包括以下工序:通过在室温以下将半导体晶片、粘合片及切割胶带的层叠物进行扩张,切割半导体晶片及粘合片,形成带有多个单片化了的粘合片的半导体芯片。
地址 日本东京都