| 发明名称 | 排气罩 | ||
| 摘要 | 一种排气罩，围置于密闭反应室的开口周围以收集并排出废气，包括：一个中空套管、以及与该中空套管相连通的管路，该管路的另一端与真空抽吸装置相连接，在该中空套管的内壁上设有至少一个排气孔；密闭反应室内的废气从排气孔被抽吸进中空套管并从管路排出；本装置还可于所述密闭反应室开口上方加设排气管，以加强排气效果；另外，还可将多个密闭反应室的排气罩的排气管汇集到一个总的管路后，再与真空抽吸装置相连接；因本装置可以边排气边清洗，不必再象原有技术那样等待30次以上的N<sub>2</sub>冲排后才能够再清洗，故使工作效率得以显著提高；并更加有利于操作人员的身体健康。 | ||
| 申请公布号 | CN100493739C | 申请公布日期 | 2009.06.03 |
| 申请号 | CN03151419.7 | 申请日期 | 2003.09.29 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 | 发明人 | 郑富源;孙虎 |
| 分类号 | B08B15/04(2006.01)I | 主分类号 | B08B15/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 陈 红 |
| 主权项 | 1. 一种排气装置，包括排气罩和移动式排气管(1300)，排气罩围置于密闭反应室的开口周围以收集并排出废气，其特征是：该排气罩包括：一个中空套管(1100)以及与该中空套管相连通的管路(1200)，该管路(1200)的另一端与真空抽吸装置相连接，在该中空套管(1100)的内壁上设有至少一个排气孔(1101)，移动式排气管(1300)设于所述密闭反应室开口上方并能够控制其下端管口的高度，该移动式排气管(1300)也连接有真空抽吸装置；在清洗时，密闭反应室内的废气从排气孔(1101)被抽吸进中空套管(1100)并从管路(1200)排出，而从密闭反应室上升的废气由移动式排气管(1300)排出。 | ||
| 地址 | 201203上海市浦东新区张江路18号 | ||