一种通过透反式零位光栅产生绝对零位对准标记的方法

摘要

本发明通过透反式零位光栅产生绝对零位对准标记的方法，特征是采用两块经过特殊编码产生零位标记的光栅，将透射光栅放在Z方向上，光束沿着Z方向垂直射入透射光栅；再将反射光栅沿着Z方向安装在透射光栅后面，并平行于透射光栅，光束透过透射光栅后垂直射入反射光栅，经反射光栅反射回来，通过调整反射光栅的相对角度和/或相对位置，使两块光栅完全对准，就可以获得X-Y平面内的绝对零位；在光路上加上分束棱镜，就可通过设置光电接收器接收光信号进行判向和记数，对二维空间中精密位移进行绝对测量和定位；本发明能应用于光刻机中，实现掩模-硅片之间高于20纳米精度的对准，比现有光刻对准技术具有更高的对准精度。

主权项

1、一种通过透反式零位光栅产生绝对零位对准标记的方法，采用下述经过特殊光栅编码方法编码产生零位标记的光栅：该光栅由栅线等宽的透光栅线与不透光栅线任意排列组成，以“0＂表示不透光栅线，以“1＂表示透光栅线，将整个零位栅线序列以一个数值为0和1的矩阵来表示；设其光信号强度的对比度D＝u0/up，其中u0为系统光通量输出的第2最大值，up为系统光通量输出的最大值；使对比度D小到能满足系统分辨率的要求；其特征在于：采用上述光栅编码方法制造出两块光栅，该两块光栅中的对应栅格编码为互补码；其中一块为透射光栅，在玻璃片上加工而成；另一块为反射光栅，在硅片上加工而成；将该两块光栅按如下方式组合：首先将透射光栅垂直于入射光路放置，再把反射光栅安装在与透射光栅所在平面平行的平面上，并与入射光路垂直；调整两块光栅的相对位置使两块光栅完全对准，然后调整两块光栅之间的距离至获得最大的光强信号输出；最后用分束棱镜使反射光沿与入射光路垂直的方向射出，并利用光电接收器接收，对光电接收器接收的光信号进行判向和记数，即可对二维空间位置进行绝对测量和定位。