| 发明名称 | 非晶碳膜、形成非晶碳膜的方法、具有非晶碳膜的导电性部件以及燃料电池用隔板 | ||
| 摘要 | 本发明的非晶碳膜是包含碳和氢的非晶碳膜，其中该非晶碳膜包含30原子％以下且大于0原子％的氢，并且当将碳的总量作为100原子％时，具有sp<sup>2</sup>杂化轨道的碳的存在量为70原子％以上且小于100原子％。通过控制氢、Csp<sup>3</sup>等的含量以增加包含Csp<sup>2</sup>的结构，从而对非晶碳膜赋予导电性。通过利用包含如下一种或多种气体的反应气体的等离子体CVD方法，可以形成该非晶碳膜，所述一种或多种气体选自包含具有sp<sup>2</sup>杂化轨道的碳的碳环化合物气体、和包含具有sp<sup>2</sup>杂化轨道的碳以及硅和/或氮的杂环化合物气体。通过在基材的表面上形成非晶碳膜可得到导电性部件。 | ||
| 申请公布号 | CN101448740A | 申请公布日期 | 2009.06.03 |
| 申请号 | CN200780018780.0 | 申请日期 | 2007.05.22 |
| 申请人 | 株式会社丰田中央研究所 | 发明人 | 伊关崇;山田由香;中西和之;大岛正;森广行;堀江俊男;铃木宪一;北原学 |
| 分类号 | C01B31/02(2006.01)I;C23C16/26(2006.01)I;C23C16/50(2006.01)I;H01B1/04(2006.01)I;H01B5/14(2006.01)I;H01B13/00(2006.01)I;H01M8/02(2006.01)I | 主分类号 | C01B31/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 王海川;穆德骏 |
| 主权项 | 1. 一种非晶碳膜，其包含碳和氢，并且其特征在于：所述非晶碳膜包含30原子％以下且大于0原子％的氢，并且当将碳的总量作为100原子％时，具有sp2杂化轨道的碳的存在量为70原子％以上且小于100原子％。 | ||
| 地址 | 日本爱知县 | ||