| 发明名称 |
METHOD FOR PRODUCING F2-CONTAINING GAS, APPARATUS FOR PRODUCING F2-CONTAINING GAS, METHOD FOR MODIFYING ARTICLE SURFACE, AND APPARATUS FOR MODIFYING ARTICLE SURFACE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1731480(A4) |
申请公布日期 |
2009.06.03 |
| 申请号 |
EP20050727964 |
申请日期 |
2005.03.30 |
| 申请人 |
KANTO DENKA KOGYO CO., LTD. |
发明人 |
TANIOKA, TAKASHI;FUKAE, KATSUYA;YONEMURA, TAISUKE |
| 分类号 |
C01B7/20;C08J7/00;C08L101/00;C23C8/08;H01L21/306 |
主分类号 |
C01B7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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