节流及微流量精确控制用金属多孔材料芯体的制备方法

摘要

本发明公开了一种节流及微流量精确控制用金属多孔材料芯体的制备方法，该方法为：将粒度为-80～-500目范围内的金属粉末直接放入致密管中模压成型，成型压力为2.5～5.0MPa，然后采用加压烧结方法，压力为2～15kPa，于600～1300℃温度下真空烧结，获得孔隙度为10-40％的金属多孔材料微流量控制芯体，其内芯为多孔材料，外壳为致密材料。本发明工艺简单，制备的多孔材料的孔隙度随着原始粉末的粒度、压制压力和烧结温度的变化而不同，从而可以调节微流量控制器流量的变化，达到不同的节流效果；当测试压力为0.18～0.2MPa时，气体流量在1.0～800Sccm范围内可调，提高了节流器的使用寿命和可靠性。

主权项

1、一种节流及微流量精确控制用金属多孔材料芯体的制备方法，其特征在于该制备方法是：将粒度为-80～-500目范围内的金属粉末直接放入致密管中模压成型，成型压力为2.5～5.0MPa，然后采用加压烧结方法，压力为2～15KPa，于600～1300℃温度下真空烧结，获得孔隙度为10-40％的所述金属多孔材料芯体，其内芯为多孔材料，外壳为致密材料。