一种小抽速无油涡旋真空泵

摘要

本实用新型涉及真空泵技术领域，是一种小抽速无油涡旋真空泵，具有结构紧凑，体积小，极限压力低等特点，抽速为4L/s。本实用新型所述的转子涡旋盘为三点定位结构，依靠均布的三个曲柄轴部件使转子涡旋盘绕定子涡旋盘沿固定圆轨迹平动，完成抽气过程。所述的涡旋盘表面经硬质氧化处理并喷涂特氟隆。所述的密封垫片采用特氟隆材料。本实用新型是干式真空泵的一种，清洁度高，适用于半导体、科学仪器、精细化工、医疗等行业。

主权项

1. 一种小抽速无油涡旋真空泵，包括转子涡旋盘、定子涡旋盘、曲轴，所述转子涡旋盘和定子涡旋盘设置有相对应的涡旋型盘状结构体，其特征在于：所述涡旋型盘状结构体的涡旋壁高度h、渐开线基圆半径Rg、渐开线半厚展开角α、终止角φE是按照下列公式设定的：式中：Sth—理论抽速；n—电机转速；h—涡旋壁高度；Rg—渐开线基圆半径；α—渐开线半厚展开角；φE—终止角。