发明名称 用于处理光敏生物聚合物的装置
摘要 一种用于处理光敏生物聚合物的装置,包括至少一个光源,一个适合于接收基片的处理室和一个分配构件,其中在基片上放置用来自光源的光进行处理的生物聚合物,分配构件用于将来自光源的光导向到基片上的被选位点处。分配构件包括至少一个由马达驱动的反射镜,该反射镜安装在一个可旋转的卷轴上,卷轴布置在产生磁场的器件的磁极之间,并且分配构件具有与卷轴电连接的可调节电源,用于控制反射镜的方位。
申请公布号 CN100493693C 申请公布日期 2009.06.03
申请号 CN03805923.1 申请日期 2003.02.25
申请人 弗莱克斯根技术有限公司 发明人 科尼利斯·J·M·西姆斯科克;约翰尼斯·T.·登敦宁;贾科布斯·H.·范布姆
分类号 B01J19/00(2006.01)I 主分类号 B01J19/00(2006.01)I
代理机构 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 代理人 秦 晨
主权项 1. 一种用于处理光敏生物聚合物的装置,至少包括一个光源、一个适合于接收基片的处理室和一个分配构件,其中在基片上放置用来自光源的光处理的生物聚合物,分配构件用于将来自光源的光导向到基片上的被选位点处,其特征在于,分配构件至少包括一个由马达驱动的反射镜,该反射镜安装在可旋转的卷轴上,卷轴布置在产生磁场的器件的磁极之间,且分配构件具有与卷轴电连接的可调节电源,用于控制反射镜的方位。
地址 荷兰莱顿